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专利名称：利用经碱土金属交换的沸石精制三氟化氮气体的方
法
专利类型：发明专利
发明人：朴容徹,程宇植,玄光哲,李章源,权益铉申请号：CN200580030056.0申请日：20050707公开号：CN101014400A公开日：20070808
摘要：本发明公开了一种用于精制三氟化氮气体的方法和用在其中的吸附剂。将包含四氟化碳(CF4)杂质的三氟化氮(NF3)渗入如下沸石3A、4A或5A床中以将三氟化氮选择性地吸附到所述床上，接着将三氟化氮从床上脱附，其中所述沸石与碱土金属离子交换过并且在150－600℃下热处理过0.5－100小时。
申请人：株式会社晓星
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：北京市中咨律师事务所
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