专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：静电吸引驱动装置专利类型：发明专利发明人：古庄英高
申请号：CN200510127237.7申请日：20051124公开号：CN17836A公开日：20060607
摘要：本发明提供一种能够选择进行粗进给驱动和微进给驱动、并且能够抑制速度变动的幅度来提高移动速度的平滑性的静电吸引驱动装置。如果以从ST1到ST7的顺序将驱动信号分别赋予由(A)相至(H)相电极构成的8相电极(23)，则具有电极(33a、33b)的可动子侧从PO1状态开始朝向PO1’状态逐渐沿Y1方向移动。此时，可动子的平均速度v1(ave)为图8B的∑V1所示的实线，所以能够将速度变动的幅度抑制得较低，能够提高移动速度的平滑性(匀速性)。此外，如果以预定的组合将驱动信号赋予由A相至D相电极构成的4相电极(23)，则每1步骤的移动距离延长，能够进行粗进给驱动。
申请人：阿尔卑斯电气株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：黄剑锋
更多信息请下载全文后查看
