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专利名称：低温泵及其制造方法专利类型：发明专利发明人：福田奖
申请号：CN201210147036.3申请日：20120511公开号：CN102777347A公开日：20121114
摘要：本发明提供一种用于对氢等非冷凝性气体进行高速排气的低温泵及用于制造这种低温泵的方法。低温泵（10）具备：多个低温吸着板（50）的排列（14），其被向低温泵开口（31）开放的低温泵内部开放空间（30）包围；及放射护罩（16），包围低温泵内部开放空间（30）。多个低温吸着板（50）中的至少1个的板前表面被区分成用于非冷凝性气体的吸附区域（76）和用于冷凝性气体的冷凝区域（82）。
申请人：住友重机械工业株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：徐殿军
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