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专利名称：管道加热保温装置专利类型：实用新型专利发明人：许亮
申请号：CN201120032084.9申请日：20110128公开号：CN2019999U公开日：20111005
摘要：本实用新型涉及一种管道加热保温装置。这种管道加热保温装置包括保温箱，所述保温箱内设有供气体管道穿越的通道，通道的内径和管道的外径大小匹配，所述保温箱内还设有加热金属丝，所述加热金属丝设于所述通道的侧边并随通道延伸，所述加热金属丝外接电源。本实用新型通过采用保温箱，并在保温箱内开设大小与管道的相匹配的通道，可避免保温箱和管道之间存在间隙，从而可以确保保温箱内的加热金属丝的热量及时地传导到管道，进而，确保管道内的反应气体具有足够高的温度并能及时地输送到硅片表面的淀积区域，保证生产的顺利进行。另外，保温箱和管道贴合在一起，也可以防止加热金属丝因热量无法快速散出而发生烧毁现象。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
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