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专利名称：一种振动能量采集器及其形成方法专利类型：发明专利
发明人：李志刚,欧毅,欧文,陈大鹏,叶甜春申请号：CN201310552855.0申请日：20131108公开号：CN1046375A公开日：20150520
摘要：本发明提供一种振动能量采集器，包括框架、支撑梁、质量块、导体层和压电薄膜；其中：质量块，形成在支撑梁间且与支撑梁为一体结构；支撑梁，形成在框架内且两端悬挂固定于框架上；导体层，形成在质量块、支撑梁以及框架上且相互连通；压电薄膜，形成于支撑梁和质量块的导体层上。本发明的器件在振动中支撑梁发生弯曲变形，弯曲变形是与振幅相关的非线性形变，由于压电薄膜同支撑梁和质量块一同发生非线性形变，使得在较宽的振动频率范围内，器件都可以输出电信号，有效提高了振动能量采集器的性能。
申请人：中国科学院微电子研究所
地址：100029 北京市朝阳区北土城西路3号
国籍：CN
代理机构：北京维澳专利代理有限公司
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