一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201210012960.0 （22）申请日 2012.01.17 （71）申请人 游利

地址 214500 江苏省泰州市靖江市经济开发区城南工业园区北六圩

（10）申请公布号 CN103208405B

（43）申请公布日 2015.06.10

（72）发明人 游利

（74）专利代理机构 靖江市靖泰专利事务所

代理人 陆平

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复工艺

（57）摘要

一种P5000刻蚀机中阴极内衬的修复

工艺，包括以下步骤保护不需要加工的零部件表面，用胶带和保护用材料对阴极内衬(1)进行包裹，只露出需要进行加工的3个边接口和内衬上用于加工时定位用的沟(2)，3个边接口分别为第一边接口(1-1)、第二边接口(1-2)、第三边接口(1-3)；该修复工艺只针对以生泄漏的3个凸出接口进行处理，不影响阴极内衬上的其它无关特征和尺寸。通过在端面添加密封圈和改用螺纹连接，部件的密封性能比当初的焊接结构更加可靠，并且

具有重复修复的特点。为P5000刻蚀机用户节约了生产成本。 法律状态

法律状态公告日

2013-07-17 2013-08-14 2013-10-30 2015-06-10

法律状态信息

公开

实质审查的生效

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 授权

法律状态

公开

实质审查的生效

专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 授权

权利要求说明书

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说明书

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