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专利名称：温度传感器专利类型：发明专利
发明人：凯瑟琳·欧苏利文,安东尼·赫利希,安东尼·马赫,巴拉
苏博拉马尼姆·维德海纳森,陈阳
申请号：CN201410571341.4申请日：20141023公开号：CN104634471A公开日：20150520
摘要：本发明涉及一种温度传感器，包括：衬底(1)；铂电阻(2)，布置在所述衬底(1)上；保护层(4)，覆盖所述铂电阻(2)；覆盖层(5)，覆盖所述保护层(4)；所述覆盖层(5)包含AlO和SiO。根据本发明，所述覆盖层(5)还包含YO。
申请人：森萨塔科技百慕大有限公司
地址：百慕大汉密尔顿教堂街2号克莱伦顿大楼
国籍：BM
代理机构：北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)
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