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专利名称：光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设
备
专利类型：发明专利发明人：广久保望
申请号：CN201811410079.X申请日：20140721公开号：CN109407303A公开日：20190301
摘要：提供能够抑制性能降低的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS设备。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备设置有固定反射膜的固定基板(51)和设置有可动反射膜的可动基板(52)；壳体(610)，具有可容纳波长可变干涉滤波器(5)的内部空间(611)；以及固定部(7)，将波长可变干涉滤波器(5)固定于壳体(610)。固定部(7)设置在沿着固定基板(51)的厚度方向的侧面(517)与壳体(610)(内面(627B))之间。
申请人：精工爱普生株式会社
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：北京康信知识产权代理有限责任公司
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