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专利名称：谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法
及检查方法
专利类型：发明专利
发明人：关智志路,塚崎友英,德嵩文男,M·蒙赫巴特申请号：CN201910982804.9申请日：20191016公开号：CN1112091A公开日：20200616
摘要：本发明提供一种谐振频率确定装置、检查装置、谐振频率确定方法及检查方法，实现装置的小型化及提高谐振频率确定作业的作业效率。其能确定MEMS反光镜元件(100)的谐振频率(fm)，通过向MEMS反光镜元件(100)提供驱动用的交流信号(S1)来使反光镜转动从而使反射光的偏转角变化，谐振频率(fm)是偏转角达到最大时交流信号(S1)的频率，包括：信号输出部(11)，能一边改变频率一边输出交流信号(S1)；测定部(12)，在交流信号(S1)被提供给MEMS反光镜元件(100)的状态下，基于MEMS反光镜元件(100)输出的输出信号(S2)测定电阻值(R)；及处理部(16)，执行确定处理，基于随频率改变而变化的电阻值(R)达到极值时的频率，确定谐振频率(fm)。
申请人：日置电机株式会社
地址：日本长野县
国籍：JP
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
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