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专利名称：一种旋转ITO靶材制备工艺专利类型：发明专利发明人：罗永春
申请号：CN201610108131.0申请日：20160229公开号：CN105801091A公开日：20160727
摘要：本发明提供一种旋转ITO靶材制备工艺，通过制造氧化铟粉末、制造二氧化锡粉末、二者混合球磨造粒并且冷压烧结，最后绑用钛管，在较短的制造时间内制造出致密性为99.98%以上的旋转ITO靶材，节约制备时间，提高产品品质。
申请人：芜湖映日科技有限公司
地址：241009 安徽省芜湖市经济技术开发区汽经一路5号1-005
国籍：CN
代理机构：南京正联知识产权代理有限公司
代理人：胡定华
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