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专利名称:蓝宝石衬底减薄工序中的粘片方法专利类型:发明专利发明人:许其推,李刚,吴启保申请号:CN200410077355.7申请日:20041208公开号:CN1787172A公开日:20060614
摘要:本发明涉及一种蓝宝石衬底减薄工序中的粘片方法,所述粘片方法通过在粘片载体上加热熔蜡,然后放置衬底,最后再冷却蜡将衬底固定到粘片载体上,在所述粘片载体和所述衬底之间设置一层使所述衬底的电极与所述粘片载体非直接接触的渗蜡性良好的保护膜。在本发明的粘片方法中,在晶片和粘片载体之间设置一张蜡光纸,能防止晶片上的芯片的电极和发光区与粘片载体直接接触受到损伤、能缩短去蜡时间,提高工作效率;涂蜡时采用特定的蜡分布可以有效避免由于蜡过多或过少发生的掉边和破裂情况;在涂蜡时通过控制温度和压力使蜡呈熔融状态同时还未处于完全液态,有利于蜡的均匀分布,减小偏差。
申请人:方大集团股份有限公司
地址:518055 广东省深圳市南山区西丽镇龙井方大工业城
国籍:CN
代理机构:深圳市顺天达专利商标代理有限公司
代理人:郭伟刚
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