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专利名称：扩散炉的自动炉门盖专利类型：实用新型专利发明人：伍波,张勇,李果山申请号：CN200920205303.1申请日：20090925公开号：CN201532119U公开日：20100721
摘要：本实用新型公开了一种扩散炉的自动炉门盖，应用于半导体掺杂工艺的扩散炉；它包括一圆管状炉膛，在炉膛的炉口端连接有一炉门柜，炉门柜内通过移动装置连接有一个与炉口匹配的圆形炉门盖；所述移动装置由炉门盖平面偏转驱动机构和炉门盖轴向运动驱动机构组成。通过配备自动炉门盖实现在扩散炉中应用闭管、软着陆的技术，提升温控精度、保证气场分布，并减少能耗。
申请人：深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
地址：518103 广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区A4栋
国籍：CN
代理机构：深圳市康弘知识产权代理有限公司
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