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专利名称：保护环排水结构专利类型：实用新型专利发明人：童德黉,童德观申请号：CN200520093674.7申请日：20051118公开号：CN2829980Y公开日：20061025
摘要：一种保护环排水结构，包含：一环型座，该环型座顶面间隔环设有复数锁孔，并于该环型座底端环设有复数凹槽；复数陶瓷柱体，对应设置于上述环型座的凹槽内；如上述构造，可将晶圆置入该环型座内稳固定位，并使该环型座底端的陶瓷柱体保护晶圆在旋转研磨的过程中能平稳与磨料接触，并使研磨过程中喷注的多余的水份与研磨液沿各陶瓷柱体间排出。
申请人：童德黉,童德观
地址：省桃园县八德市重庆街213巷6弄23号
国籍：CN
代理机构：沈阳科苑专利商标代理有限公司
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