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专利名称：微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置
制造用感光性树脂组合物
专利类型：发明专利
发明人：西村功,星子贤二,金子将寛申请号：CN201610246881.4申请日：20160420公开号：CN106066575A公开日：20161102
摘要：本发明提供一种微流体装置的制造方法、微流体装置及微流体装置制造用感光性树脂组合物，制造方法包括：由感光性树脂组合物在支撑体上形成树脂层的工序，感光性树脂组合物含有具有至少两个自由基聚合性基的化合物、光自由基产生剂、具有至少两个阳离子反应性基的化合物、光阳离子产生剂以及选自具有保护基的胺、光降解性碱、具有酰亚胺结构的化合物、具有酰胺结构的化合物及具有脲结构的化合物中的至少一种化合物；对树脂层的一部分进行紫外线曝光及显影的工序；在显影后的树脂层上载置覆盖材料而获得层压体的工序；及对所得的层压体进行紫外线曝光的工序。由于光刻后的经图案化的树脂层具有充分的强度与粘性，从而使微流体装置具有良好的流路。
申请人：JSR株式会社
地址：日本东京港区东新桥一丁目9番2号
国籍：JP
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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