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专利名称:波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制
作方法
专利类型:发明专利
发明人:王鸣,陈露,朱佳利,沈萌申请号:CN201510571383.2申请日:20150909公开号:CN105092122A公开日:20151125
摘要:本发明公开了一种波纹膜片式法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法。光纤压力传感器包括波纹膜片、玻璃圆环、光纤法兰盘和光纤插头,其中,玻璃圆环的一个端面与波纹膜片粘结,其另一端的外壁与光纤法兰盘的凹槽粘结;光纤插头与光纤法兰盘耦合,光纤插头位于玻璃圆环的内部,且光纤插头的端面与波纹膜片的表面形成法布里-珀罗腔。本发明的波纹膜片式法布里-珀罗压力传感器是对现有的压力传感器技术的提高和补充,能够满足科学研究和生产需求,有望解决传感器向微型化发展和批量生产时遇到的问题,适用于强电磁干扰、易燃易爆等恶劣环境,在石油化工和航空航天领域有广泛应用前景。
申请人:南京师范大学
地址:210097 江苏省南京市鼓楼区宁海路122号
国籍:CN
代理机构:南京知识律师事务所
代理人:李媛媛
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