专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：间隙调整装置专利类型：实用新型专利
发明人：,狄宝山,高文良,李瑞秋申请号：CN200820155224.X申请日：20081111公开号：CN201298539Y公开日：20090826
摘要：本实用新型揭露了一种间隙调整装置，利用承接套来避免温度感测件于间隙调整过程中出现错位，且利用位移感测器来确定调节临界点，避免了温度感测件顶动晶圆托盘而造成位置误差。该间隙调整装置包括：调节机构与连接于其上的移动载台，且该调节机构为移动载台提供移动所需的动力；承接套，固定于移动载台上，其承接温度感测件的底端，从而于移动载台移动时带动温度感测件移动；位移感测器，固定于移动载台上，以感测并显示温度感测件的位移，其中该位移感测器的感测端位于承接套内。利用此间隙调整装置调整温度感测件与晶圆托盘之间的间隙时，易于保证位置精确度，进而每次更换温度感测件后具有较好的再现性。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
地址：201203 上海市张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所
更多信息请下载全文后查看
